ams OSRAM qualifiziert AIXTRONs G5+ C‑ und G10-AsP-Anlagen auf 200mm-Wafern für MicroLED-Anwendungen

ams OSRAM (SIX: AMS), ein weltweit führender Anbieter von optischen Lösungen, und AIXTRON SE (FSE: AIXA), ein führender Anbieter von Depositionsanlagen für die Halbleiterindustrie, gaben heute bekannt, dass ams OSRAM die AIXTRON-AIX-G5+ C‑ und G10-AsP-MOCVD-Anlagen auf 200-mm-Wafern für eine MicroLED-Anwendung qualifiziert hat.

Die MOCVD-Anlage AIX G5+ C und die neue Anlage G10-AsP der AIXTRON SE bieten die AIXTRON-Planeten-Technologie, die den Weg für die nächste Generation hochauflösender MicroLED-Displays ebnet. Im Frühjahr 2022 hatte ams OSRAM Pläne angekündigt, zusätzliche Fertigungskapazitäten auf Basis 200 mm zu schaffen, die die Produktion von LED und MicroLED an seinem bestehenden Standort in Malaysia ermöglichen. Die MOCVD-Anlagen sollen dazu beitragen, die Massenproduktion von MicroLED für eine neue Generation von Display-Anwendungen zu ermöglichen.

„AIXTRON und ams OSRAM arbeiten seit langem zusammen, und wir sind mit den Leistungs‑ und Qualitätsstandards der Anlagen vertraut. Für ein ehrgeiziges Projekt wie die Entwicklung und Produktion von MicroLED für AsP‑ und GaN-Bauelemente benötigen wir genau einen solchen Partner an unserer Seite“, sagt Robert Feurle, Executive Vice President und Leiter der Business Unit Opto Semiconductors bei ams OSRAM

Dr. Felix Grawert, CEO und Präsident der AIXTRON SE, fügt hinzu: „Die Qualifizierung von G10-AsP und AIX G5+ C bei ams OSRAM ist ein sehr wichtiger Meilenstein in unserer Unternehmensgeschichte. ams OSRAM ist ein LED-Hersteller von Weltrang und perfekt aufgestellt, um die von Grund auf neue Technologie zu ermöglichen, die auf den Markt kommen wird. Wir stehen an der Schwelle eines Technologiewandels fort von herkömmlichen Display-Technologien und hin zu einer neuen Art von MicroLED-Displays. AIXTRON betritt nun einen der Wachstumsmärkte der Zukunft mit enormem Potenzial, und dafür haben wir den perfekten Partner an unserer Seite.“

MicroLED bieten erhebliche Vorteile für die Display-Technologie, darunter höhere Pixeldichte, längere Lebensdauer, höhere Helligkeit, schnellere Schaltgeschwindigkeit und ein breiteres Farbspektrum. Ein weiterer wichtiger Vorteil ist der relativ geringe Energieverbrauch, der die MicroLED ideal für die kommenden Generationen kleinerer Displays für Endverbrauchergeräte qualifiziert, die nur sehr eingeschränkten Platz für Batterien bieten.

Die MicroLED-Produktion geht mit speziellen Anforderungen einher: Die Volumenproduktion beinhaltet ein spezielles Transferverfahren, bei dem mehrere tausend LED-Chips (Arrays) in einer Größenordnung, die in Mikrometern gemessen wird, aufgenommen und übertragen werden. Jeder Defekt kann zu toten Pixeln führen, die ein ganzes Array unbrauchbar machen können. Daher ist ein nahezu fehlerfreies Epitaxieverfahren erforderlich, das Defekte minimiert sowie eine wirtschaftliche Produktion von MicroLED mit hoher Ausbeute ermöglicht.

Die neue Epitaxieanlage G10-AsP von AIXTRON wurde eigens für die Anforderungen dieser Anwendung entwickelt: Es handelt sich um den weltweit ersten vollautomatischen AsP-Reaktor, der sich durch vollautomatische Wafer-Beladung von Kassette zu Kassette sowie einen auf In-situ-Ätzung basierenden Reinigungsmechanismus auszeichnet. Zusammen haben diese beiden Merkmale erheblichen Einfluss auf das Ertragsergebnis. Darüber hinaus bietet die AIXTRON-Anlage die Vorteile der Batch-Reaktor-Technologie: Sie ermöglicht die niedrigsten derzeit auf dem Markt erhältlichen Produktionskosten pro Wafer und den höchsten Durchsatz pro Reinraumfläche. Gleichzeitig verfügt das neue Tool über eine präzise Durchfluss‑ und Temperaturregelung, die beste Materialgleichmäßigkeit bei jedem Durchgang ermöglicht.