SEZ bestätigt mit Volumenauftrag starke Nachfrage für Einzelscheibensysteme
Die SEZ Gruppe (SWX Swiss Exchange: SEZN) verzeichnet weiterhin eine kräftige Nachfrage nach Halbleiterfertigungs-Equipment zur nasschemischen Einzelscheibenbearbeitung in der Halbleiterproduktion. Ein massgeblicher Auftrag im Volumen von über CHF 13 Mio. wurde im ersten Quartal von der koreanischen Dongbu Anam Semiconductor erteilt. Er umfasst mehrere Doppelkammer-Spin-Prozessoren 223, die für nasschemische Reinigungsprozesse auf der Wafer-Rückseite in einer Mikrochipfertigung auf Basis der 0.18 µm- und 0.13 µm-Technologie eingesetzt werden. Die Auslieferung der Anlagen ist für das zweite und dritte Quartal 2004 geplant.
