SEZ komplettiert Da Vinci-Serie
Markteinführung von drei Anlagen aufgrund steigender Nachfrage beschleunigt
Die SEZ Gruppe (SWX Swiss Exchange: SEZN) reagiert mit der um vier Monate vorgezogenen Markteinführung von drei neuen Modellen ihrer Da Vinci-Serie (DV-28F, DV-34BF and DV-24BF) auf die steigende Nachfrage nach Einzelscheibensystemen zur nasschemischen Reinigung von Wafern. Die drei neuen Modelle komplettieren die Da Vinci-Palette, die auf der konkurrenzlosen SEZ-Einzelscheiben-Spin-Prozessor-Technologie mit ihren bewährten Prozessanwendungen basiert. Die Systeme der Da Vinci-Plattform sind auf die Verarbeitung von grossen Stückzahlen ausgerichtet und lassen sich einfach in Produktionslinien zur Bearbeitung von Wafern mit einem Durchmesser von 200- und 300-mm integrieren.
Die rasche Komplettierung der Da Vinci-Plattform stellt einen weiteren wichtigen Schritt im Rahmen der strategischen Zielsetzung von SEZ dar, zum Anbieter von Gesamtlösungen für nasschemische Reinigungsschritte auf Basis der Einzelscheiben-Technologie zu werden. Die Systeme der Da Vinci-Plattform bieten eine mit Einzelscheibensystemen bislang unerreichte Produktivität (Durchsatz) und verfügen durch die Kombination von hoher Rentabilität mit hoher Prozessqualität über das Potenzial, die Ablösung der Mehrscheibentechnologie für anspruchsvolle Reinigungsprozesse in der Mikrochipfertigung massgeblich zu beschleunigen.
