SEZ bestätigt mit Volumenauftrag starke Nachfrage für Einzelscheiben­systeme

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SEZ bestätigt mit Volumenauftrag starke Nachfrage für Einzelscheiben­systeme

Die SEZ Gruppe (SWX Swiss Exchange: SEZN) verzeichnet weiterhin eine kräftige Nachfrage nach Halbleiterfertigungs-Equipment zur nasschemischen Einzelscheiben­bearbeitung in der Halbleiterproduktion. Ein massgeblicher Auftrag im Volumen von über CHF 13 Mio. wurde im ersten Quartal von der koreanischen Dongbu Anam Semiconductor erteilt. Er umfasst mehrere Doppelkammer-Spin-Prozessoren 223, die für nasschemische Reinigungsprozesse auf der Wafer-Rückseite in einer Mikrochipfertigung auf Basis der 0.18 µm- und 0.13 µm-Technologie eingesetzt werden. Die Auslieferung der Anlagen ist für das zweite und dritte Quartal 2004 geplant.